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In-Situ 実験装置

EBSD装置と組合わせ、試料の熱処理や加工処理時のダイナミカルな組織変化の直接観察を観察とするEBSD用 In-Situ実験試料ステージです。

透過EBSD法 試料ホルダー

EBSD装置を使用しTEM試料の結晶方位マップを得るために使用する試料ホルダーです。各社SEMに対応した透過EBSD用試料ホルダーを用意しています。

CrossCourt　弾性歪解析ソフト (BLG社製品)

EBSDパターンは実格子を反映したパターンです。したがって結晶格子が歪めば、その変化は非常に微小ですが、EBSDパターン上の微小な変化として現れます。相互相関関数を用いてこの微小な変化を検出することにより、結晶格子の弾性歪を測定します。

ASTAR　TEM用結晶方位解析装置 (NanoMegas社製品)

TEM の照射電子線を試料上でPrecessionさせ、ダイナミカルな効果を低減した回折パターンを得ることで、回折パターンの指数付精度を上げます。さらに試料上で連続的に照射電子線を走査することで、EBSDと同様の結晶方位マップをTEMで得ることが可能となります。空間分解能はSEM-EBSD法をはるかにしのぐ2nm程度が可能となります。

TEM用 液中試料作成装置 (Naiad/vitro TEM社)

単層グラフェン膜で微小な試料を液体とともに挟み込むことにより、TEM観察が可能な試料を作製します。単層グラフェン膜は非常に薄く電子線に対してもほぼ透明で、非常に高い分解能で生の試料を観察することが可能です。vitro TEM社の開発によるNaiad システムでは、試料を単層グラフェン膜を張ったグリッドに載せるだけで、全自動で試料作成を行います。