●Image Quilty(IQ)像● 株式会社 TSLソリューションズ | |||
イメージクォリティ像は、菊池パターンの鮮明度を数値化しています。つまりパターンが鮮明であればIQ値は高くなり、その点はより明るく(白く)表されます。したがってIQマップは、試料中残留歪等を定性的に表示しているとも考えられます。 | |||
IQ値に影響を与える要因は次のようなものが考えられます。 1:試料自身が加工等による歪を持つ場合 2:表面の異質相(コンタミネーション/酸化皮膜等)がある場合 3:結晶粒界等で2つの粒にまたがった場合 4:研磨歪み等で試料表面の結晶性が悪くなっている場合 純銅を室温で60%圧延した試料の断面を観察した場合のIQ像 |
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