●HightLight機能●　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　株式会社　ＴＳＬソリューションズ
右図は特定の結晶粒を色別に認識させたもので、右の表は、それぞれの結晶粒情報です。HightLight機能では、個々の結晶粒の認識だけではなく、個別の測定点や選択した測定点からある範囲内の傾角を持つ測定点をすべて選択させたりといったようなことも可能です。また、HightLightさせた結晶粒あるいは測定点を使用して、新たに解析を行うことも可能です。
CVD法で作成したTaの薄膜です
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