●FSD検出器画像例（Ni)●　　　　　　　　　　　　株式会社　ＴＳＬソリューションズ
EBSPでの測定は、試料を７０°に傾斜して行うため、SEM機能の反射電子検出器は使用できません（試料に接触してしまう可能性があります。そのため、菊池パターンを検出する蛍光スクリーン付近に反射検出器を取り付け、反射電子像の検出を行い、スキャン範囲を明確にするためのオプションです。
BEI			SEI
				X200
				X500
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				X10000
				X20000
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